高纯水可分为电子级高纯水和普通高纯水，分别用符号EH和PH标志。
电子级高纯水：
在制造工艺中使用电子级高纯水的电力半导体器件有如下特点：
a.具有精细图形结构；b.对器件表面有特殊要求；c.工艺对水质有特定的严格要求。
有四项考核内容：1、水中自由离子浓度；2、水中悬浮微粒的数量和大小；3、水中有机物总量；4、水中细菌微生物状况。
普通高纯水：
分为三个级别：Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级。
具体详见：中华人民共和国纯水标准
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再生回用水标准详见：再生回用水标准
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