在电子、电镀行业生产过程中,每个工段生产流程的差异,对纯水的品质要求也不同,选择的纯化水设备也不相同。纯水分级中最关键的指标是电导率(电阻率);根据电阻率的不同,可分为去离子水、蒸馏水、纯水、超纯水、电子级超纯水。
电子级超纯水设备,不仅需要将水中的导电介质几乎完全去除,又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的。根据超纯水中电阻率、硅、细菌数、颗粒度等指标情况,将超纯水分为以下几个级别:
中国国家电子级超纯水GB/TII446.1-1997标准(超链接)
|
EW-I |
EW-Ⅱ |
EW-Ⅲ |
EW-Ⅳ |
电阻率 MΩ﹒cm(25℃) |
18以上 (95N时间) 不低于17 |
15 (95N时间) 不低于13 |
12.0
|
0.5
|
全硅,最大值,µg/L |
2 |
10 |
50 |
1000 |
>1µm微粒数,最大值,个/mL |
0.01 |
5 |
10 |
500 |
细菌个数,最大值,个/mL |
0.01 |
0.1 |
10 |
100 |
铜,最大值,µg/L |
0.2 |
1 |
2 |
500 |
锌,最大值,ug/L |
0.2 |
1 |
5 |
500 |
镍,最大值.µg/L |
0.1 |
1 |
2 |
500 |
钠.最大值,µg/L |
0.5 |
2 |
5 |
1000 |
钾,最大值.ug/L |
0.5 |
2 |
5 |
500 |
氯,最大值.ug/L |
l |
l |
10 |
1000 |
硝酸根,最大值,ug/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
磷酸根,最大值.ug/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
硫酸根,最大值,ug/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
总有机碳,最大值,ug/L |
20 |
100 |
200 |
1000 |
为了实现废水的零排放,需要将生产中的废水重新变成可以用于车间生产的超纯水。由于不同生产企业,生产工段对用水水质的要求不同,需要深入了解生产工艺,才能制定更合理的零排放处理工艺。
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